미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 

Home

 

취급 제품

 

적용분야

 

관련 자료

 

연 락 처

 

 

 

 

다인펜-dynepen

동영상모음

 

 

 

Generate oxygen, argon, nitrogen, hydrogen, CF4, SF6, ambient air, or other mixed gas plasma to ash photoresist, descum after patterning,
etch silicon dioxide and nitride, remove hydrocarbon and other surface contamination, change surface energy and improve the bonding strength. 

 
 
 

 

 

 
  PIE Scientific사 - 진공 플라즈마 클리너 : 탁상형 모델 3종, 원격(remote) 모델 3종 : Made in USA
   
 

Tergeo

Tergeo Plus

Tergeo-EM

TEM specimen holder
vacuum pumping station

RF Power Supply: 0-75W, 0-150W

(1-watt interval)   0-150W, 0-500W

0-150W

 

   
     

   (Applications)

 

산소 플라즈마 에칭, 표면 처리

포토레지스트 에싱, 디스컴, MEMS

SEM, TEM, FIB 샘플 클리닝

마이크로플루이딕, PDMS, 유리슬라이드, 랩온 칩

와이어 본딩, 플립 칩, 언더필/다이본딩, 인캡슐레이션

금속-금속, 복합소재 본딩

폴리머 플라즈마 처리

 

 

Oxygen Plasma Ethching and Treatment

Sample Cleaning for SEM, TEM FIB

Plasma Cleaning prior to Wire Bonding

Photoresist Ashing, Descum ad MEMS

Microfluidics, PDSM, and Glass Slides, Lab-on-a-chip

Plasma Treatment for Medical Device

Metal to Metal Composite Bonding

Plasma Cleaning for Surface Activation & Cleaning

Plasma Treatment for Polymer

 
 
 

가장 진보된 탁상형 진공 플라즈마 클리너로서, 초보자도 쉽게 운영하실 수 있는 전자동 모델입니다.

 

초보자도 신뢰할 수 있는 유효한 데이터를 쉽게 반복적으로 얻을 수 있습니다 (다수의 논문, 기술자료에 장비명 언급) !

Tergeo 시리즈 탁상형 3모델 : Tergeo Basic,  Tergeo Plus,  Tergeo-EM(신제품 : for SEM, TEM, Cryo-EM...)

20개까지 공정 프로그램(Recipe)을 저장하여 사용할 수 있습니다 : 표준 레시피 제공 및 관련 자료 제공

플라즈마 표면 클리닝 개질 에칭 에싱 디스컴 멸균 ....  : 다양한 플라즈마 공정 수행 가능.

하나의 플라즈마 시스템으로 2가지 모드 (직접 침존, 원격 하향 모드 : direct & remote mode) 사용 가능:

 

다양한 어플리케이션 대응...Tergeo 플라즈마 장비(downstream gentle mode + pulse mode + plasma intensity sensor)

 

타 장비에서는 어려운 2D material research, Powder sample, 민간한 부품.소재 에도 적합합니다.

펄스 모드 작동 (pulse mode operation) : 고압, 낮은 파워에서 플라즈마 점화.

플라즈마 세기 센서(특허 획득), 3-recipe job sequence 기능, 기타 첨단 기능들이 탑재되어 있습니다.

고전압 RF 전극 (0-75 watt or 0-150 watt or 0-500 watt, 13.56MHz, automatic impedance matching)이

 

샘플 챔버 외부에 위치하여 균일성은 높고 오염도는 낮습니다 !

2개의 공정 가스 라인 내장 (MFCs: 0~100 sccm)- 1 x 가스라인 추가 가능(옵션),  7인치 터치 스크린 컨트롤.

 

가스 믹서 (gas mixer)가 필요치 않습니다 !

사용이 쉬운 intuitive 프로그램, Smart 자체 진단 프로그램 탑재  - 보증 기간 : 2 (년)

 

공정 각 단계에 대한 설명, 주요 부품들을 지속적으로 모니터링하고, 팝업 창으로 내용을 전달합니다.

특허 획득(미국): 터보 방전 플라즈마 소스 디자인 기술 외 다수 !

최신 모델 출시: 동시에 2개의 TEM 샘플 rod(옵션:4개까지) 처리(Tergeo-EM 모델), Cryo-EM, Hydrophillic... 등에 효과적임.

RS232 통신포트가 있어, 케이블 연결로 PC와 연동 가능하고, 실리콘 밸리 본사로부터의 원격 솔루션, 화상(Skype) 통화,

 

PC log-on, log 전송 등의 다채널 원격 지원이 가능합니다 !

SmartClean™ technology - 완벽한 플라즈마 세정(공정)을 원하시면 PIE사의 전자동 진공 플라즈마 클리너를 선택하세요 !

실리콘 밸리의 세계적인 기업들, Apple/Google/Intel/Micron, NIH, Harvard, Berkeley, HITACHI, BTW, JEOL,

 

국내 서울대, 연세대, 고려대, 공주대, 인제대, WISTEK, 삼영순화, 울산과기원, 한국기술교육대, 한양대, 
기타 여러분께서 사용하시는 최고 성능의 제품입니다 !

 

   
   

 

 

EM-Kleen

Multipurpose Chamber

Semi-Kleen-Q

Semi-Kleen-S

Controller

Controller

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   (Applications)

 

박막 증착, 표면 분석

반도체 검사, 리뷰, 계측

SEM, TEM, FIB 샘플 클리닝

 

 

차세대 리소그래피(NGLs) 장치

XPS, SIMS, AES의 오염 제거

Plasma clean Ultra-High 진공 챔버

 

Thin Film Deposition & Syrface Analysis

Semiconductor Inspection, Review, Metrology

Hydrocarbon Contamination Removal on XPS, SIMS, AES

Next Generation Lithography(NGLs) System

Plasma Clean Ultra-High Vacuum Chamber

Sample Cleaning for SEM, TEM FIB

 

     

 

 

원격 플라즈마 챔버 장착형 : (3 모델: EM-Kleen,  SEMI-Kleen-quartz  &  sapphire)는 반도체장비,

 

연구장비 챔버(Remote plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL and other high vacuum chambers.)에

 

장착하여 원격으로 사용하는 제품들입니다.   작지만 스마트하고 강력한 원격 하향식 플라즈마 클리너 -

 

Small, yet smart and powerful downstream plasma cleaners !

 

 

 

 

 

 

           before             /                     after

before                 /                after

 

 

 
 


PIE Scientific 社는 플라즈마 소스(plasma sources) 개발과 그 응용 분야인 플라즈마 에칭(etching),
샘플 표면 개질(sample surface modification), 오염물 제거(contamination removal), 이온 & 전자 빔
(ion and electron beam) 등의 제품을 개발하는 전문성을 갖춘 회사입니다.
PIE는 Plasma(플라즈마),
Ion(이온),
E
lectron(전자)를 의미합니다. 제조사의 설립 취지는 반도체, 원자력공학 분야에서 개발된
최신의 플라즈마 기술을 연구단체에 적용가능한 플라즈마 장비로 개발.생산하는 것으로 Lawrence
Berkeley National Laboratory의 '플라즈마, 이온 소스 기술 그룹'의 동문을 주축으로 설립되었습니다.
최첨단 전자동 플라즈마 클리너, 플라즈마 처리장치, 이온 소스, 기타 관련 부품 등을 반도체 장비 제조사,
전자현미경 제조사, 기타 저희 제품을 필요로하는 제조사에 OEM 공급을 하고 있으며, 엔지니어링
디자인과 기술적 역량에 자부심을 갖고 소비자가 100% 만족하실 수 있도록 최선을 다 하고 있습니다.

 
 
     

 -  최신 소식  - 관련 전시회 컨퍼런스 참여, TEM rod storage system 출시, 터보 방전 기술 특허 승인.

Marketing update

PIE Scientific LLC had presented our product at the Microscopy & Microanalysis 2019 conference and tradeshow in Portlan Oregan. This has been the fouth year since we participated M&M in 2016. We will also be present at the ISTFA 2019 tradeshow and conference on November 10th-14th.   08/06/2019

New product release

PIE Scientific LLC released TEM sample rod storage system at the Microscopy & Microanalysis 2018 (M&M2018) conference & tradeshow. Our TEM storage system can individually vent and pump each storage cells. Total 6 storage cells per system. 08/06/2018

Patent approval

Our Turbo Discharge™ plasma source design technology has been approved by US patent office. (Patent number: US9997335B2) Turbo Discharge™ technology can significantly improve the plasma efficency at low pressure range and increase the production rate of radical species for downstream etching application.  03/26/2018

 

 

 

( Valuable Customers )

연세대학교

국립공주대학교

인제대학교

WISTEK

Hermes Microvision Korea

삼영순화

울산과학기술원

한국기술교육대학교

고려대학교

서울대학교 (유전공학)

한양대학교

성균관대학교

아주대학교

서울대학교 (화학)

 

 

 
 
 
 
 
 
 

합리적인 가격대의 공업용 대기압 저온 플라즈마 표면 처리기

 

 

Plasma Surface Cleaning, Activation, Etching....

데모 가능 !

 

 

 

싱글 노즐 모델

 

로터리 노즐 모델

 

 

 

 

 

 

 

 

(분야) automotive, electronics, wire/cable,

 

medical, rubber/plastic, inkjet/print, packaging

   
 

플라즈마 처리 폭: 10, 15mm,

 

속도: <분당 100M, 간격: 5-8mm

 

 

(분야) sheet, film, electronics, medical

 

inkjet/print, glass

   
 

플라즈마 처리 폭: 20, 30, 70mm,

 

속도: <분당 70M, 간격: 5-8mm

 

 

         
 

 
 
 

자동차 분야

전자 분야

포장 분야

 

 

 

 

 

 

의료 제품 분야

휴대폰 분야

프린팅 분야

 

 

 

 

 

 

유리 분야

고무/플라스틱 분야

와이어/케이블 분야

 

 

 

 
 
 
 

 

 
 

                

Relyon Plasma  -  대기압 플라즈마 : Made in Germany

2002년 설립된 독일의 플라즈마 기술 전문 업체로서, TDK의 자회사입니다.

  

Surface Activation / Cleaning/Printing / Varnishing / Adhesion Improvement / Disinfection...

 

대기압 플라즈마에 대해서

 

동영상모음

 

 

 

처리 가능 소재 : Metals, metal alloys - Plastics and composites - glass, ceramics, inorganic composites,

 

natural stone - natural leather, imitation leather - natural fibre, wood, paper - 신소재.희귀소재는 사전 테스트요.

 

 

제품 형태에 관계없이 처리 가능 :

 

매우 정밀한 부위, 등고선, 3D, 케이블.튜브, 얇은 섬유.필라멘트, 파우더, 기공.개기공 있는 표면, 넓은 표면....

   

 

 

 

표면에너지가 낮은 PP, PTFE, Silicon
PZ2로 플라즈마 표면 처리후 결과: 표면애너지 상승

실리콘 소수성 테스트 결과 : 가파른 감소

PP, PTFE, Silicon 인장테스트 결과 : 인장력 상승

   
 

solder resist, flux 등에도 선택적 플라즈마 처리를
    통한 wetting 향상.
 

플라즈마 처리전 wire bonding

Selective 플라즈마 처리후 wire bonding

 
   
 
 

 

 
 

세계 최소형 핸디형 플라즈마 표면 차리기 데모 가능 !

 

                      

 
 

PiezoBrush(PZ2, PZ2-i) : PDD 기술 기반의 세계 최소형 대기압 저온 능동 플라즈마 모델

PZ2 : 핸디형 초보자용 모델로서 저 예산으로 다양한 연구.실험, PP, 다품종 소량 생산 등의 공정 수행:

 

장소(실험실/사무실/실외...)에 관계없이 전원만 있으면 사용 가능합니다.

PZ2-i : 데스크탑 로봇, 자동/반자동 시스템에 통합하여 사용 가능한 통합형 모델.

PZ3 : 2020년 핸디형 소형 상압 플라즈마 처리기,  신모델   Button_new004.gif

   

소비자 리스트 : 삼성전기,  경희대(치과대학),   원드롭,   플람,   다이텍연구원,   한국전자통신연구원,....


   

PlasmaBrush(PB3+PS2000) : PAA 기술 기반의 핸디타입 고출력.고성능 기본 플라즈마 모델 :

기본구성: 플라즈마 발생기 + 파워써플라이 + 케이블.부속품 : 다양한 공정 수행.  
핸디형 수동타입으로 사용 또는 자동화 시스템에 통합,적용이 가능한 모델.


   

PlasmaCell(P300): PAA 기술 기반의 고출력.고성능 자동 플라즈마 모델 :

Stand-alone type : All in One : PlasmaBrush를 기반으로 자동화에 통합된 자동 시스템 !


   

PlasmaTool: PAA 기술 기반의 핸디형 고출력.고성능 공업용 플라즈마 모델 :
녹/페인트 제거, 페인팅/바니싱 전의 표면 클리닝, 표면 활성화, 복원, 인테리어분야...

Industrial Cleaning & Stripping : 캐리어 타입으로 이동이 쉽고 1인 작업 가능 !
빌트-인 통합 컴프레서가 있어  외부 가스 공급이 필요치 않다.


 

 

( Valuable Customers )

 

경희대(치과대학)

원드롭

플람

다이텍연구원

SNVIA

한국전자통신연구원

삼성전기

유니폴리

KETI

 
 

 

 
 
 

 

  관련 제품  

 
 

다인펜.잉크

 

접촉각측정기

 

접착제

         

 

 

 

 
 
 

  한국대리점 :  (주)인텍써플라이   서울시 강동구 양재대로 97길 24(2층) (우: 05375),  /  TEL) 02 487-8782  /  Fax) 02-487-8784  /   

Copyright @ (주)인텍써플라이 All rights reserved,  대표: 현 재 범,  212-86-12971 (사업자등록번호)