미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 

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  PIE Scientific사 - 진공 플라즈마 클리너 : 탁상형 모델 3종, 원격(remote) 모델 3종 : Made in USA
   

(Cryo-EM, in-situ TEM and SEM - making TEM grids hydrophillic and holders)

Plasma clean hydrocarbon contamination, Making carbon and graphene TEM grid hydrophilic.
Gentle
 
plasma
 cleaning technology can handle holey carbon grid and graphene TEM grids.
Smart & Intuitive Design. Carbon grid cleaning
, SEM/TEM sample cleaning.

 

 

가장 진보된 탁상형 진공 플라즈마 클리너로서, 초보자도 쉽게 운영하실 수 있는 전자동 모델입니다.

  초보자도 신뢰할 수 있는 유효한 데이터를 쉽게 반복적으로 얻을 수 있습니다 (다수의 논문, 기술자료에 장비명 언급) !

Tergeo 시리즈 탁상형 3모델 : Tergeo Basic, Tergeo Plus, Tergeo-EM(신제품 : for SEM, TEM, Cryo-EM...)

20개까지 공정 프로그램(Recipe)을 저장하여 사용할 수 있습니다 : 표준 레시피 제공 및 관련 자료 제공

2가지 모드 (직접, 원격 하향: direct & remote mode) 사용 가능: 다양한 어플리케이션 대응...

  Tergeo 플라즈마 장비(downstream gentle mode + pulse mode + plasma intensity sensor)는 타 장비에서는
  어려운 2D material research에도 적합합니다.

펄스 모드 작동 (pulse mode operation) : 고압, 낮은 파워에서 플라즈마 점화.

플라즈마 세기 센서(특허 획득), 3-recipe job sequence 기능, 기타 첨단 기능들이 탑재되어 있습니다.

고전압 RF 전극 (75 watt or 150 watt, 13.56MHz, automatic impedance matching)

 

샘플 챔버 외부에 위치하여 균일성은 높고 오염도는 낮습니다.

 2개의 공정 가스 라인 내장 (MFCs: 0~100 sccm)- 1 x 가스라인 추가 가능(옵션),  7인치 터치 스크린 컨트롤.

사용이 쉬운 intuitive 프로그램, 자체 진단 프로그램이 탑재 : 

 

주요 부품들을 지속적으로 모니터링하고, 문제시 팝업 창으로 원인과 솔루션을 제공합니다.

실리콘 밸리 본사에서 원격  솔루션, 화상(Skype) 통화, PC log-on, log 전송 등의 다채널 원격 지원이 가능합니다 !

특허 획득: 터보 방전 플라즈마 소스 디자인 기술 외 다수 !

최신 모델 출시: 동시에 2개의 TEM 샘플 rod 처리(Tergeo-EM 모델), Cryo-EM, Hydrophillic... 등에 효과적임.

플라즈마 표면 클리닝 멸균 개질 에칭 에싱....작업 가능.

SmartClean™ technology - 완벽한 플라즈마 세정을 원하시면 PIE사의 전자동 진공 플라즈마 클리너를 선택하세요 !

실리콘 밸리의 세계적인 기업들, Apple/Google/Intel/Micron, NIH, Harvard, Berkeley, HITACHI, BTW, JEOL,

 

국내 연세대, 공주대, 인제대, WISTEK, 삼영순화, 울산과기원 기타 여러분께서 사용하시는 최고 성능의 제품입니다 !

원격 플라즈마 챔버 장착형 : (3 모델: EM-Kleen, SEMI-Kleen-quartz or sapphire)는 연구장비 챔버

 

(Remote plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL and other high vacuum chambers.)에 장착하여

 

원격으로 사용하는 제품들입니다.   

 

 


PIE Scientific 社는 플라즈마 소스(plasma sources) 개발과 그 응용 분야인 플라즈마 에칭(etching),
샘플 표면 개질(sample surface modification), 오염물 제거(contamination removal), 이온 & 전자 빔
(ion and electron beam) 등의 제품을 개발하는 전문성을 갖춘 회사입니다.
PIE는 Plasma(플라즈마),
Ion(이온),
E
lectron(전자)를 의미합니다. 제조사의 설립 취지는 반도체, 원자력공학 분야에서 개발된
최신의 플라즈마 기술을 연구단체에 적용가능한 플라즈마 장비로 개발.생산하는 것으로 Lawrence
Berkeley National Laboratory의 '플라즈마, 이온 소스 기술 그룹'의 동문을 주축으로 설립되었습니다.
최첨단 전자동 플라즈마 클리너, 플라즈마 처리장치, 이온 소스, 기타 관련 부품 등을 반도체 장비 제조사,
전자현미경 제조사, 기타 저희 제품을 필요로하는 제조사에 OEM 공급을 하고 있으며, 엔지니어링
디자인과 기술적 역량에 자부심을 갖고 소비자가 100% 만족하실 수 있도록 최선을 다 하고 있습니다.

 
 

 -  대표적 사례들  - 전자현미경, 이온현미경, 표면 세정 및 활성화, 의료 분야 : 플라즈마 클리닝, 표면개질, 에칭, 에싱, 멸균,....

SEM

TEM

FIB dual beam

XPS,....

Modify surface wettability

Improve bonding

Etching and deposition,....

Improve biocompatibility

Medical sterilization

Enhance adhesion,....

Electron and Ion Microscope

Surface Cleaning & Activation

Medical Applications

     

 -  최신 소식  - 관련 전시회 컨퍼런스 참여, TEM rod storage system 출시, 터보 방전 기술 특허 승인.

Marketing update

PIE Scientific LLC had presented our product at the Microscopy & Microanalysis 2019 conference and tradeshow in Portlan Oregan. This has been the fouth year since we participated M&M in 2016. We will also be present at the ISTFA 2019 tradeshow and conference on November 10th-14th.   08/06/2019

New product release

PIE Scientific LLC released TEM sample rod storage system at the Microscopy & Microanalysis 2018 (M&M2018) conference & tradeshow. Our TEM storage system can individually vent and pump each storage cells. Total 6 storage cells per system. 08/06/2018

Patent approval

Our Turbo Discharge™ plasma source design technology has been approved by US patent office. (Patent number: US9997335B2) Turbo Discharge™ technology can significantly improve the plasma efficency at low pressure range and increase the production rate of radical species for downstream etching application.  03/26/2018

 
 
 

( Valuable Customers )

연세대학교

국립공주대학교

인제대학교

WISTEK

Hermes Microvision Korea

(주)위스텍

삼영순화

울산과학기술원

한국기술교육대학교

 

   
 
 
 
 
 
 

                

Relyon Plasma  -  대기압 플라즈마 : Made in Germany

2002년 설립된 독일의 플라즈마 기술 전문 업체로서, TDK의 자회사입니다.

  

Surface Activation / Cleaning/Printing / Varnishing / Adhesion Improvement / Disinfection...

 

대기압 플라즈마에 대해서

 

동영상모음

 

 

 

처리 가능 소재 : Metals, metal alloys - Plastics and composites - glass, ceramics, inorganic composites,

 

natural stone - natural leather, imitation leather - natural fibre, wood, paper - 신소재.희귀소재는 사전 테스트요.

 

 

제품 형태에 관계없이 처리 가능 :

 

매우 정밀한 부위, 등고선, 3D, 케이블.튜브, 얇은 섬유.필라멘트, 파우더, 기공.개기공 있는 표면, 넓은 표면....

   

 

 

 

표면에너지가 낮은 PP, PTFE, Silicon
PZ2로 플라즈마 표면 처리후 결과: 표면애너지 상승

실리콘 소수성 테스트 결과 : 가파른 감소

PP, PTFE, Silicon 인장테스트 결과 : 인장력 상승

   
 

solder resist, flux 등에도 선택적 플라즈마 처리를
    통한 wetting 향상.
 

플라즈마 처리전 wire bonding

Selective 플라즈마 처리후 wire bonding

 
   
 
 
 
 
 
 

핸디형 플라즈마 데모 가능 !

 

                      

 
 

PiezoBrush(PZ2, PZ2-i) : PDD 기술 기반의 세계 최소형 대기압 저온 능동 플라즈마 모델

PZ2 : 핸디형 초보자용 모델로서 저 예산으로 다양한 연구.실험, PP, 다품종 소량 생산 등의 공정 수행:

 

장소(실험실/사무실/실외...)에 관계없이 전원만 있으면 사용 가능합니다.

PZ2-i : 데스크탑 로봇, 자동/반자동 시스템에 통합하여 사용 가능한 통합형 모델.

PZ3 : 2020년 핸디형 소형 상압 플라즈마 처리기,  신모델   Button_new004.gif

   

소비자 리스트 : 삼성전기,  경희대(치과대학),   원드롭,   플람,   다이텍연구원,   한국전자통신연구원,....

 
   

PlasmaBrush(PB3+PS2000) : PAA 기술 기반의 핸디타입 고출력.고성능 기본 플라즈마 모델 :

기본구성: 플라즈마 발생기 + 파워써플라이 + 케이블.부속품 : 다양한 공정 수행.  
핸디형 수동타입으로 사용 또는 자동화 시스템에 통합,적용이 가능한 모델.

 
   

PlasmaCell(P300): PAA 기술 기반의 고출력.고성능 자동 플라즈마 모델 :

Stand-alone type : All in One : PlasmaBrush를 기반으로 자동화에 통합된 자동 시스템 !

 
   

PlasmaTool: PAA 기술 기반의 핸디형 고출력.고성능 공업용 플라즈마 모델 :
녹/페인트 제거, 페인팅/바니싱 전의 표면 클리닝, 표면 활성화, 복원, 인테리어분야...

Industrial Cleaning & Stripping : 캐리어 타입으로 이동이 쉽고 1인 작업 가능 !
빌트-인 통합 컴프레서가 있어  외부 가스 공급이 필요치 않다.

(주)인텍써플라이는 미국 PIE Scientific사, 독일 Relyon Plasma사의 정식 한국대리점입니다.

 

 

( Valuable Customers )

 

경희대(치과대학)

원드롭

플람

다이텍연구원

한국전자통신연구원

삼성전기

 

 

 
 
 
 

 

  관련 제품  

 
 

다인펜.잉크

 

접촉각측정기

 

접착제

         
         
 
 
 
 
 
 
 

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