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 미국 PIE Scientific 社 제품 개요
탁상형 & 원격 진공 플라즈마 클리너 : 샘플 크리닝, 표면 처리, 활성화, 포토레지스트 에싱
모델 : Tergeo, Tergeo Plus, Tergeo-EM, EM-Kleen, SEMI-Kleen-quartz, SEMI-Kleen-sapphire
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Plasma cleaning, etching, surface treatment, TEM/SEM Plasma cleaner
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Tergeo tabletop plasma cleaners : 탁상형 진공 플라즈마 클리너 4 모델
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(model : Tergeo, Tergeo Plus, Tergeo Pro, Tergeo-EM: SEM/TEM 전자현미경 용도)
- SEM/TEM : 샘플의 탄화수소계 오염원 제거, TEM grid hydrophillic for Cryo-EM...
- hydrophilic or hydrophobic surface wettability : 친수, 소수성 표면 젖음성 향상...
- Surface preparation to improve bonding strength : 표면 접착력 향상...
- MEMS microfluidics devices : MEMS 미세유체 디바이스 젖음성 향상...
- Medical device activation and sterilization : 메디칼 디바이스 표면 활성화, 살균...
- Photoresist ashing and wafer descum : 포토레지스트 에싱, 웨이퍼 디스컴...
- Device decapsulation for failure analysis : 디바이스 디캡슐레이션,....
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In-situ plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL, 기타 HV 챔버에 장착 사용...
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Remote Plasma Cleaner for SEM, FBI, XPS... : 원격 진공 플라즈마 클리너 4 모델
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(model : EM-Kleen, SEMI-Kleen Quartz, SEMI-Kleen Sapphire, SEMI-Kleen UVH )
- FE-SEM, FIB and TEM : 현장 샘플 세정 (in-situ cleaning)
- CD-SEM, EBR, EBI, EUVL : 반도체장비 오염원 제거
- 고진공 챔버 탄화수소계 오염원 응결 세정
- XPS, SIMS, AES : 챔버, 샘플 세정
- ALD after organic solvent cleaning : 챔버, 샘플 세정
- Ultra-High Vacuum Compatible Plasma Source (SEMI-Kleen UVH)
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High Brightness Ion Sources : 다양한 응용 분야에 맞는 고휘도 이온 소스:
미국 로런스 버클리 국립연구소와의 협업으로 RF, 마이크로 웨이브 방전 기술에 기초한
고휘도 이온 소스를 개발하여 공급합니다. 다양한 소비자의 요구 사항에 맞는 맞춤형 제품
공급도 가능합니다. 저압 이온 소스 (예, low energy spread (<2eV) muticusp ion source; miniaturized ion source etc)
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High Resolution Electron & Ion Optics Design Service : 고해상도 전자.이온 광학 디자인 서비스
나노 미터 이하(sub-nm)의 해상도를 갖는 전자, 이온 컬럼(column) 디자인 : charged particle
optics with MEBS, EGUN, IGUN and Opera simulation software : 전화 문의 요
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다양한 옵션 장치들 :
TEM specimen holder, room air particle filter set,
Multi-pupose vacuum chamber, water vapor delivery kit, TEM sample holder,
TEM rod insert adapter...
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- Key Customer List -
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연세대학교
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국립공주대학교
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인제대학교
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WISTEK
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e-sense
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삼영순화
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UNIST
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한국기술교육대학교
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고려대학교
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서울대학교 (유전공학) : Tergeo-EM
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한양대학교
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동우화인켐
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부산대학교 (의과대학) : Tergeo-EM
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전력연구원
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성균관대학교
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아주대학교
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KIST (NRG)
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ESOL (EUVL): SEMI-Kleen
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전북대학교
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충남대학교
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단국대학교
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GIST - MSE
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제주대학교
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KRISS
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ADD
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SAMSUNG (SAIT)
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처리 가능 소재 : Metals, metal alloys - Plastics and composites - glass, ceramics, inorganic composites, natural stone -
natural leather, imitation leather - natural fibre, wood, paper - 신소재.희귀소재는 사전 테스트요.
형태에 관계없이 처리가능: 매우 정밀한 부위, 등고선, 3D, 케이블.튜브, 얇은 섬유.필라멘트, 파우더, 기공.개기공 있는 표면, 넓은 표면...
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PZ3 : 세계 최소형 대기압 저온 능동 모듈타입 핸디형 플라즈마 모델 : ▶
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엔트리 모델로서 다양한 연구.실험, PP, 다품종 소량 생산 등의 공정 수행,
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장소(실험실/사무실/실외...)에 관계없이 전원만 있으면 사용 가능합니다.
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PZ3-i : 데스크탑 로봇, 자동/반자동 시스템에 통합하여 사용.
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PZ2 : 세계 최소형 대기압 저온 능동 핸디형 플라즈마 모델 :
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엔트리 모델로서 다양한 연구.실험, PP, 다품종 소량 생산 등의 공정 수행 ▶
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PlasmaBrush(PB3+PS2000) : 핸디타입 고출력.고성능 기본 플라즈마 모델 : ▶
기본구성: 플라즈마 발생기 + 파워써플라이 + 케이블.부속품 : 다양한 공정 수행.
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PlasmaCell(P300) : 고출력.고성능 자동 플라즈마 모델 : ▶
Stand-alone type : All in One !
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PlasmaTool : 핸디형 고출력.고성능 공업용 플라즈마 모델 : ▶
녹/페인트 제거, 페인팅/바니싱 전의 표면 클리닝, 표면 활성화, 복원, 인테리어분야...
Industrial Cleaning & Stripping : 캐리어 타입으로 이동이 쉽고 1인 작업 가능 !
빌트-인 통합 컴프레서가 있어 외부 가스 공급이 필요치 않다.
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(소비자 리스트 )
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경희대(치과대학)
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원드롭
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플람
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다이텍연구원
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SNVIA
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한국전자통신연구원
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SAMSUNGSEM
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유니폴리
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KETI
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순천대학교
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서울대학교
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KIER
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호서대학교
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KIST
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티센바이오팜
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DGIST
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LG전자
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GIST
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SP2TX
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성균관대학교
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KAIST
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DENQ
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SAMSUNG
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랩서치
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삼성전기
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관련 제품
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다인펜.잉크
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접촉각 측정기
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독일 Arcotest사 다인펜, 다인잉크
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포터블 광학 접촉각 측정기
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made in Germany
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made in Japan
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Tergeo
