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1. Plasma discharge method (플라즈마 방전 방식)
Tergeo - 2가지 플라즈마 방전 방식 채택 : Capacitive coupling for direct mode plasma source,
inductive coupling for remote plasma source. Capacitive coupling with external electrode provide
uniform plasma across the whole chamber. Inductive coupling provide efficient plasma discharge
where uniformity is not a concern. Unique dual plasma source design: Remote and direct mode in one system.
2. Uniformity (뛰어난 플라즈마 균일성)
Tergeo - 탁월한 플라즈마 균일성 : Excellent plasma uniformity across the whole chamber
because of the capacitive coupling discharge technology with external rf electrodes.
3. Gas flow control (가스 유량 컨트롤: 별도의 가스 혼합기 불필요 !)
Tergeo - MFC 가스 입력 컨트롤, 통합 압력 센서 :
Automatic MFC regulated gas input. Integrated pressure sensor.
4. Operation (플라즈마 클리너 작동방식: 전자동)
Tergeo - 전자동 공정 프로그램 작동, 공정 컨트롤 기술, 자동 임피던스 매칭, 60개 운영 프로그램 저장 :
Fully automatic recipe execution. Process control technology. Automatic impedance matching. Supports 60 recipes.
5. RF power (RF 파워: 0-75 / 0-150W / 0-500W : 3종)
Tergeo - 폭 넓은 RF
파워 범위 : 0-150W 13.56MHz rf power,
연속적 RF 파워 조절, 자동 임피던스 매칭 :
0-~75Watt or 0-150W or 0-500W, 13.56MHz rf power. Continuously adjustable rf power setting in recipe.
Automatic impedance matching.
6. Plasma sensor (플라즈마 센서: 유니크한 특허 정치)
Tergeo - 유니크한 플라즈마 센서 개발 (특허 출원) : 전자동 공정 실현에 기여 :
Unique plasma sensor. Intelligent plasma ignition technology helps the plasma cleaner
automatically find the best plasma ignition conditions, once the plasma ignites, system
automatically restore the recipe setting.
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Tergeo
