산소 플라즈마 에칭, 표면 처리

포토레지스트 에싱, 디스컴, MEMS

SEM, TEM, FIEAIM.htmlB 샘플 클리닝

마이크로플루이딕, PDMS, 유리슬라이드, 랩온 칩

와이어 본딩, 플립 칩, 언더필/다이본딩, 인캡슐레이션

금속-금속, 복합소재 본딩

폴리머 플라즈마 처리

              Tergeo-EM + 2개의 Thermo Fisher TEM Specimen holder

Customer publications

For a more complete list of our customer publications that mentioned our Tergoe-EM plasma system
in the field of TEM research, especially in Cryo-TEM research, please search it on Google Scholar
( click HERE for the linked search results). Here are some selected publications:

1. High-speed high-resolution data collection on a 200 keV cryo-TEM
2. 2.5 Å-resolution structure of human CDK-activating kinase bound to the clinical inhibitor ICEC0942
3. Efficient graphene oxide coating improves cryo-EM sample preparation and data collection from tilted grids
4. Cryo-EM structures of the SARS-CoV-2 endoribonuclease Nsp15 reveal insight into nuclease specificity and dynamics
5. Efficacy of boron nitride encapsulation against plasma-processing of 2D semiconductor layers
6. Integrated cryoEM imaging center at Seoul National University, Korea
7. Constructing oxide/sulfide in-plane heterojunctions with enlarged internal electric field for efficient CO2 photoreduction
8. Cryo-EM structures of an insecticidal Bt toxin reveal its mechanism of action on the membrane
9. Calcineurin-fusion facilitates Cryo-EM Structure Determination of a Family A GPCR
10. Rigid monoclonal antibodies improve detection of SARS-CoV-2 nucleocapsid protein

     Tergeo-EM 플라즈마 클리너 모델은 일반적인 시료의 플라즈마 세정은 물론, SEM/TEM 샘플 세정용으로 개발된
    스페셜 모델입니다.  석영 재질의 석영 윈도우를 스텐레스 재질 아답터로 변경하여 서로 다른 브랜드의 TEM 샘플 로드
    (sample rods)를 쉽게 교환.수용할 수 있도록 하였습니다.   핀-마운트 SEM 샘플 홀더를 내부의 석영 플레이트에 놓고
    세정을 할 수 있습니다.  동시에 2개의 상이한 TEM Sample Holder를 수용할 수 있습니다.

대부분의 SEM 사용자는 SEM 영상의 어두운 번 마크(dark burn mark)에 친숙할 것입니다.  이러한 마크는 전자 빔 유도 탄화수소의
증착입니다.   카본 요소에 대한 낮은 2차 전자(SE) 수율로 탄화수소가 코팅된 표면은 청결한 표면에 비해 어둡게 나타납니다.  특히,
상대적으로 낮은 랜딩 에너지(1000eV)에서 SE (secondary electron) 이미지에서 나타납니다.   샘플 표면의 탄화수소 오염은 낮은 랜딩
에너지에서 물질의 대비를 낮추고, 고해상도 FE-SEM의 해상도를 저해시킵니다.   고해상도 FE-SEM 영상을 유지하기 위해서는 샘플
표면의 오염원을 제거하는 것이 매우 중요합니다.

Tergeo-EM plasma cleaner 모델은 유일하게 하나의 세정기로 침전(immersion) 모드와 원격 하향식(downstream remote) 모드 2가지 모드를
사용할 수 있는 TEM/SEM 플라즈마 클리너입니다.  하향식 플라즈마(Downstream  plasma)는 샘플의 이온 증착을 완벽하게 제거할 수 있으며,
민감한 샘플 처리를 위해서 극단 플라즈마 펄스(extremely short  plasma pulses)를 생성할 수 있고,  특허 출원된 플라즈마 센서 기술
(Patented plasma sensor technology)로 실시간 플라즈마 세기를 모니터링 할 수 있어서 사용자께서 다양한 샘플에 최적의 사용자 조건을
세팅할 수 있도록 도와줍니다.   7인치 산업용 터치스크린, 초보자도 쉽게 사용이 가능합니다 !   

타 장비에서는 어려운 2D material research에도 적합합니다.  13.56MHz 고주파 RF 파워 써플라이에 자동 임피던스 매칭 기능은 현장 플라즈마 소스에
사용됨(0-75W  or  0-150watt). 13.56MHz RF 파워는 KHz 파워에 비해 매우 높은 고밀도의 플라즈마를 생성합니다.
석영 챔버 사이즈 : 내경: 110mm(4인치); 외경: 120mm; 깊이 280mm,  가스 믹서(gas mixer) 불필요 !

Tergeo-EM 모델은 심하게 오염된 전자 광학 컬럼(electron optics column)의 어퍼쳐(apertures)와 전극(electrodes)의 고속 세정부터
세밀한 세정이 필요한 샘플(graphene, carbon nanotube, DLC (diamond-like carbon), carbon fiber or  TEM samples on holey carbon grid)
까지 사용자가 필요로 하는 모든 세정 작업을 수행할 수 있습니다.

Tergeo-EM 모델은 오일없는 건식 펌프(oil free dry pump)를 사용하여
산소 클리닝 서비스에 안전합니다.  일반적으로 SEM/TEM 샘플 세정 공정에 공기, 또는  80%Ar+20%O2 혼합 가스를 사용할 수 있습니다.
2, 3개의 MFC 포트가 있어, 가스 혼합기 사용이 필요치 않습니다.  Cryo-EM에 효과적임 (Making TEM grid hydrophilic for cryo-EM applications.
Unique gentle downstream mode and pulsed plasma can handle ultra-thin carbon and graphene grids without damaging the fragile grids).