ECR 여기(ECR excitation) 방법은 마이크로웨이브를 이용하여 전자들을 가열합니다.  ECR 플라즈마 소스에서,  영구 자석 또는 솔레노이드
 코일이 강력한 자기장을 생성하는데 이용됩니다.    모든 자유 전자들은 아래의 방장식의 계산에 의해 같은 주파수에서 회전합니다.

 입력 마이크로웨이브 주파수가 전자 싸이클로트론 주파수(electron cyclotron frequency)와 매칭되면, 공명 효과(resonating effect)가 다량의
 전자들을 히팅하여 플라즈마를 생성합니다.